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EDI模块与电源
>> 内容
DRAM 微电子工业水质标准
日 期:
08-04-05 21:26:47
所属栏目:
EDI模块与电源
来 源: 人 气:
LED(TFT)
256K DRAM
1M DRAM
4M DRAM
16M DRAM
64M DRAM
线宽度(um)
-
1.4 - 1.8
0.8 - 1.0
0.4 - 0.6
0.2 - 0.3
0.1
电阻率
(Mohm,25℃)
>18.0
>17.5
>18.0
>18.0
>18.1
>18.1
TOC(ppb)
<20
<100
<30
<10
<3
<1
微粒(No./ml)
(0.1μ) <10/ml
(0.2μ) <50/ml
(0.1μ) <10/ml
(0.05μ) <30/ml
(0.03μ) <10/ml
(0.03μ) <5/ml
细菌(CFU/ml)
<1/100
<10/100
<1/100
<5/1000
<5/1000
<5/1000
溶解氧(ppb)
<50
<100
<100
<50
<5
<3
二氧化硅(ppb)
<5
<10
<5
<3
<1
<0.5
硼(ppb)
-
-
<2
0.05
0.05
0.05
钠(ppb)
<0.1
<0.2
<0.1
<0.1
0.05
0.01
钾(ppb)
<0.1
<0.3
<0.1
<0.1
0.05
0.02
锌
<0.05
<0.1
<0.05
<0.05
0.02
0.02
铁
<0.05
<0.05
<0.05
0.02
0.02
铜
<0.05
<0.05
<0.05
0.005
0.005
氯化物
<0.1
<0.2
<0.1
0.1
0.02
0.02
溴化物
<0.1
<0.1
0.05
0.02
0.02
硝酸盐
<0.1
<0.1
0.05
0.02
0.02
硫酸盐
0.1
<0.2
0.05
0.05
0.05
不溶残渣
<0.3
0.1
0.05
0.05
0.05
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