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DRAM 微电子工业水质标准

日 期: 08-04-05 21:26:47       所属栏目: EDI模块与电源       来 源:        人 气: 

 
LED(TFT)
256K DRAM
1M DRAM
4M DRAM
16M DRAM
64M DRAM
线宽度(um)
-
1.4 - 1.8
0.8 - 1.0
0.4 - 0.6
0.2 - 0.3
0.1
电阻率
(Mohm,25℃)
>18.0
>17.5
>18.0
>18.0
>18.1
>18.1
TOC(ppb)
<20
<100
<30
<10
<3
<1
微粒(No./ml)
(0.1μ) <10/ml
(0.2μ) <50/ml
(0.1μ) <10/ml
(0.05μ) <30/ml
(0.03μ) <10/ml
(0.03μ) <5/ml
细菌(CFU/ml)
<1/100
<10/100
<1/100
<5/1000
<5/1000
<5/1000
溶解氧(ppb)
<50
<100
<100
<50
<5
<3
二氧化硅(ppb)
<5
<10
<5
<3
<1
<0.5
硼(ppb)
-
-
<2
0.05
0.05
0.05
钠(ppb)
<0.1
<0.2
<0.1
<0.1
0.05
0.01
钾(ppb)
<0.1
<0.3
<0.1
<0.1
0.05
0.02
<0.05
<0.1
<0.05
<0.05
0.02
0.02
<0.05
 
<0.05
<0.05
0.02
0.02
<0.05
 
<0.05
<0.05
0.005
0.005
氯化物
<0.1
<0.2
<0.1
0.1
0.02
0.02
溴化物
 
<0.1
<0.1
0.05
0.02
0.02
硝酸盐
 
<0.1
<0.1
0.05
0.02
0.02
硫酸盐
 
0.1
<0.2
0.05
0.05
0.05
不溶残渣
 
<0.3
0.1
0.05
0.05
0.05

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