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美国半导体工业用纯水指标
日 期： 08-04-05 21:23:47       所属栏目： EDI模块与电源       来 源：        人 气： 

化学指标单位：μg/L
 
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
3
5
10
40
电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
0.2
2.0
5.0
 
铝 Al3+
0.2
2.0
5.0
 
铵 NH4+
0.3
0.3
0.5
 
铬 Cr6+
0.02
0.1
0.5
 
铁 Fe 3+
0.02
0.1
0.2
 
铜 Cu 2+
0.02
0.1
0.5
 
锰 Mn 2+
0.05
0.5
1.0
 
钾 K +
0.1
0.3
1.0
4.0
钠 Na +
0.05
0.2
1.0
5.0
锌 Zn 2+
0.03
0.1
0.5
 
阴离子，μg/L
0.1
0.1
0.3
 
溴 Br -
0.1
0.1
0.3
 
氯 Cl -
0.05
0.2
0.8
 
亚硝酸根 NO2-
0.05
0.1
0.3
 
硝酸根 NO3-
0.1
0.1
0.5
 
磷酸根 PO43-
0.2
0.2
0.3
 
硫酸根 SO42-
0.05
0.3
1.0
 
此值未定。
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